• ・ハロゲンランプ・ヒーター・バッテリーなど
   スイッチング電源接続例1 スイッチング電源接続例2 スイッチング電源接続例3
• ・プラズマ・静電チャック
   静電チャック用高圧電源接続例
• ・イオンポンプ・ノーブルポンプ・チタンサブリメーションポンプ
   真空ポンプ用電源接続例

• 【出力電力】 :

  500W）サブリメーションポンプ用電源
  1KW）1KW絶縁型スイッチング電源
  3KW）3KW非絶縁型スイッチング電源
  6KW）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源

• 【出力電圧】 :

  10.4V）サブリメーションポンプ用電源
  100V）1KW絶縁型スイッチング電源
  100V）3KW非絶縁型スイッチング電源
  100V）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源

• 【出力電流】 :

  10A）1KW絶縁型スイッチング電源
  30A）3KW非絶縁型スイッチング電源
  30A）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  46A）サブリメーションポンプ用電源

• 【出力電力】 :

  100W）ESC +1KV/-1KV 100mA
  100W）613-IP52
  

• 【出力電圧】 :

  –1KV）ESC +1KV/-1KV 100mA
  1KV）ESC +1KV/-1KV 100mA
  

• 【出力電流】 :

  –100mA）ESC +1KV/-1KV 100mA
  30mA）613-IP52
  100mA）ESC +1KV/-1KV 100mA
  

• - CC-Link
  ・ESC +1KV/-1KV 100mA
• - DeviceNet
  ・ESC +1KV/-1KV 100mA
  

• - 絶縁型電源
  ・1KW絶縁型スイッチング電源
  ・静電チャック用高圧電源シリーズ
  ・真空ポンプ用電源シリーズ
• - 非絶縁型電源
  ・3KW非絶縁型スイッチング電源
  ・3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  

• - スイッチング電源接続例1 スイッチング電源接続例2 スイッチング電源接続例3
• - 静電チャック用高圧電源接続例
• - 真空ポンプ用電源接続例

*誤操作、改造、天災、火災等による故障、及び研修後1年を経過した場合は
有償修理となりますのであらかじめご了承ください。