+スペック一覧

ESC +1KV/-1KV 100mAのスペック一覧

項目	内容
外形寸法（mm）	W209 × D500 × H99 突起物除く
質量	約3.8kg
電源入力	単相 AC 200V±10% 50/60Hz
出力（電圧）	DC 0～+1KV / 0～-1KV
出力（電流）	DC 0～+100mA / 0～-100mA
+電圧モニタ出力 ※1	9V～5V～1V / +1KV～0V～-1KV
-電圧モニタ出力 ※1	9V～5V～1V / -1KV～0V～+1KV
+電流モニタ出力 ※1	9V～5V～1V / +100mA～0A～-100mA
-電流モニタ出力 ※1	9V～5V～1V / -100mA～0A～+100mA
+外部出力コントロール ※2	0～10V / 0V～+1KV
-外部出力コントロール ※2	0～10V / OV～-1KV
リモート外部設定	CC-Link 2局
リップル含有率	1%rms以内
出力安定度	300V～1KVの時 ±1%以内
保護機能	入力NFB 出力過電流 出力電圧垂下保護回路 外部基準電圧抑制回路

※改良のため予告なく仕様などを変更する場合がございますのでご了承ください。

※1 アナログモニタについて

CH1とCH2非連動でそれぞれ設定電圧を変えて使用するため、２系統の独立した電圧電流モニターが必要となります。また、静電チャックに流れる電流も正負で変わるため、ウェハーの吸着と脱離の状況を電圧と電流モニターで確認する必要があります。

※2 外部コントロールについて

OUT1とOUT2は、双極方式で使用するには、吸着で通常OUT1が+電位の時、OUT2は-電圧ですので、外部設定信号1,2は OUT10～10V(外部信号1)で0～+1kVでOUT2 0～10V(外部信号2)で0～-1kVとなります。その後、脱離の時は、ウェハー除電の為、外部設定電圧極性反転機能接点ONで、電流が0mAになったら出力OFFとします。