• ・ハロゲンランプ・ヒーター・バッテリーなど
   スイッチング電源接続例1 スイッチング電源接続例2 スイッチング電源接続例3
• ・プラズマ・マグネトロン
   マグネトロン用電源接続例
• ・プラズマ・静電チャック
   静電チャック用高圧電源接続例
• ・イオンポンプ・ノーブルポンプ・チタンサブリメーションポンプ
   真空ポンプ用電源接続例
• ・イオナイザー・オゾナイザー・抵抗器
   可変型高圧電源・可変型中高圧電源接続例

• 【出力電力】 :

  700W）700W絶縁型スイッチング電源
  500W）サブリメーションポンプ用電源
  1KW）1KW絶縁型スイッチング電源
  3KW）3KW非絶縁型スイッチング電源
  4KW）4KW絶縁型共振電源
  6KW）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  8KW）8KW(2CH)
  8KW）8KW(3CH)

• 【出力電圧】 :

  10.4V）サブリメーションポンプ用電源
  35V）700W絶縁型スイッチング電源
  100V）1KW絶縁型スイッチング電源
  100V）3KW非絶縁型スイッチング電源
  100V）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  100V）8KW(3CH)
  170V）8KW(2CH)
  200V）4KW絶縁型共振電源
  220V）8KW(2CH)
  300V）8KW(3CH)

• 【出力電流】 :

  10A）1KW絶縁型スイッチング電源
  13A）8KW(3CH)
  20A）700W絶縁型スイッチング電源
  20A）4KW絶縁型共振電源
  20A）8KW(2CH)
  20A）8KW(3CH)
  30A）3KW非絶縁型スイッチング電源
  30A）3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  46A）サブリメーションポンプ用電源

• 【出力電力】 :

  1.5W）可変高圧電源　U583シリーズ
  1.5W）可変中高圧電源　U584シリーズ
  100W）ESC +1KV/-1KV 100mA
  100W）ESC +2KV/-2KV 50mA
  100W）613-IP52
  100W）613-NP52
  200W）ESC +5KV/-5KV 40mA
  300W）300Wマグネトロン用高圧電源
  450W）U659-052IP
  450W）U659-052NP
  700W）700Wマグネトロン用高圧電源
  1.5KW）1.5KWマグネトロン用高圧電源
  3KW）3KWマグネトロン用高圧電源
  6KW）6KWマグネトロン用高圧電源

• 【出力電圧】 :

  –7KV）U659-052NP
  –5.2KV）U659-052NP
  –5.2KV）613-NP52
  –5KV）ESC +5KV/-5KV 40mA
  –2KV）ESC +2KV/-2KV 50mA
  –1KV）ESC +1KV/-1KV 100mA
  0.5KV）可変中高圧電源　U584シリーズ
  1KV）ESC +1KV/-1KV 100mA
  1KV）可変中高圧電源　U584シリーズ
  1.5KV）可変中高圧電源　U584シリーズ
  2KV）ESC +2KV/-2KV 50mA
  2KV）可変中高圧電源　U584シリーズ
  4.5KV）300Wマグネトロン用高圧電源
  4.5KV）700Wマグネトロン用高圧電源
  3KV）可変高圧電源　U583シリーズ
  3.9KV）1.5KWマグネトロン用高圧電源
  5KV）ESC +5KV/-5KV 40mA
  5KV）可変高圧電源　U583シリーズ
  5.2KV）3KWマグネトロン用高圧電源
  5.2KV）U659-052IP
  5.2KV）613-IP52
  7KV）可変高圧電源　U583シリーズ
  7.5KV）U659-052IP
  8.2KV）6KWマグネトロン用高圧電源
  10KV）可変高圧電源　U583シリーズ

• 【出力電流】 :

  –100mA）ESC +1KV/-1KV 100mA
  –50mA）ESC +2KV/-2KV 50mA
  –40mA）ESC +5KV/-5KV 40mA
  0.15mA）可変高圧電源　U583シリーズ
  0.2mA）可変高圧電源　U583シリーズ
  0.3mA）可変高圧電源　U583シリーズ
  0.5mA）可変高圧電源　U583シリーズ
  0.8mA）可変中高圧電源　U584シリーズ
  1mA）可変中高圧電源　U584シリーズ
  1.5mA）可変中高圧電源　U584シリーズ
  3mA）可変中高圧電源　U584シリーズ
  30mA）613-IP52
  30mA）613-NP52
  40mA）ESC +5KV/-5KV 40mA
  50mA）ESC +2KV/-2KV 50mA
  100mA）ESC +1KV/-1KV 100mA
  120mA）300Wマグネトロン用高圧電源
  120mA）U659-052IP
  120mA）U659-052NP
  250mA）700Wマグネトロン用高圧電源
  600mA）1.5KWマグネトロン用高圧電源
  1050mA）3KWマグネトロン用高圧電源
  1100mA）6KWマグネトロン用高圧電源

• - CC-Link
  ・8KW(2CH)
  ・8KW(3CH)
  ・ESC +1KV/-1KV 100mA
  ・ESC +2KV/-2KV 50mA
  ・ESC +5KV/-5KV 40mA
• - DeviceNet
  ・8KW(2CH)
  ・8KW(3CH)
  ・ESC +1KV/-1KV 100mA
  ・ESC +2KV/-2KV 50mA
  ・ESC +5KV/-5KV 40mA

• - 絶縁型電源
  ・700W絶縁型スイッチング電源
  ・1KW絶縁型スイッチング電源
  ・4KW絶縁型共振電源
  ・8KW（2CH）絶縁型スイッチング電源
  ・8KW(3CH)絶縁型スイッチング電源
  ・静電チャック用高圧電源シリーズ
  ・真空ポンプ用電源シリーズ
• - 非絶縁型電源
  ・3KW非絶縁型スイッチング電源
  ・3KW2CH非絶縁型スイッチング電源
  ・可変型高圧電源シリーズ
  ・可変型中高圧電源シリーズ

• - スイッチング電源接続例1 スイッチング電源接続例2 スイッチング電源接続例3
• - マグネトロン用電源接続例
• - 静電チャック用高圧電源接続例
• - 真空ポンプ用電源接続例
• - 可変型高圧電源・可変型中高圧電源接続例

*誤操作、改造、天災、火災等による故障、及び研修後1年を経過した場合は
有償修理となりますのであらかじめご了承ください。