+スペック一覧

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• CC-Link(CCL-PS2)又は、DeviceNet(DNS-PS2)の内蔵により、フィールドネットワークが簡単に構築できます
  注1)ただし、搭載はCC-Link(CCL-PS2）又は、DeviceNet（DNS-PS2）のどちらかのみになります
• 背面切換スイッチにより、フィールドネットワーク又は、EXT I/Fのどちらかのリモート制御が選択できます
• 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズなウェハーの剥離が可能です
• 出力ラインにRFフィルターを内臓 (周波数 : 13.56MHz、60MHzのカットフィルター)

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ESC +5KV/-5KV 40mAのスペック一覧

項目	内容
外形寸法（mm）	W209 × D440 × H149 突起物除く
質量	約4.4kg
電源入力	単相 AC 200V±10% 50/60Hz
出力（電圧）	DC +5KV～0V～-5KV
出力（電流）	DC +40mA～0A～-40mA
±電圧モニタ出力	9V～5V～1V / +5KV～0V～-5KV (出力インピーダンス100Ω以上 最大出力電流2mA)
±電流モニタ出力	9V～5V～1V / +40mA～0A～-40mA (出力インピーダンス100Ω以上 最大出力電流2mA)
±外部出力コントロール	0～10V / 0V～±5KV (入力インピーダンス1MΩ以上)
リモート外部設定	CC-Link 1局
リップル含有率	1%rms以下
出力安定度	200V～5KVの時 ±1%以内
出力再現性	±1%
保護機能	入力NFB 出力過電流保護 出力電圧垂下保護回路 外部基準電圧抑制回路

※改良のため予告なく仕様などを変更する場合がございますのでご了承ください。